一篇關于超純水設備工藝流程的全面講解 可以好好看看
隨著半導體設計在生產過程中向精密化、小型化、小型化發展,對純水質量的要求也越來越高,超純水是一種除水離子外,還含有硅石、微粒、細菌、有機物質和微生物一并給予有限度的去除達到完全純凈程度的水質,常用于電子行業。所以超純水設備已經成為了半導體行業用水的重要保障。
下面真的要進入正題了
超純水設備顧名思義,其是采用EDI技術和反滲透技術相結合,可有效去除水中懸浮物、膠體、顆粒等雜質,達到凈化水質的良好目的。此設備無需添加任何化學藥劑,無需擔心水質的二次污染。
超純水設備工藝流程
自來水進入原水箱,通過原水泵增壓,經砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器,到達反滲透單元,經兩級反滲透過濾進入EDI單元,拋光混床單元,EDI出水進入純水水箱,此時水質的電阻率是15兆歐,經過拋光混床后,產水電阻率達到18兆歐,但是不進入水箱,直接進入用水點。因為水箱中若出現產水滯留,會影響產水水質。純水供水設計為循環方式,經純水供水泵增壓,通過紫外線消毒器、拋光混床接入純水供水管,到達使用點。
超純水設備一般包括石英砂濾器、活性碳濾器、阻垢劑、精密過濾器、RO反滲透主機系統、EDI電除鹽系統、離子交換混床系統等構成。通過多年來的實踐,萊德采用反滲透技術和EDI裝置相結合的工藝制備超純水,萊德超純水設備具有很好的實用價值,可以實現自動控制,從某種程度上而言,可以有效的達到我國電子級水質標準,具有自動化程度高,水質穩定等優勢。
萊特萊德超純水設備在設計上采用兩級RO+EDI+精混床除鹽水的處理工藝,具有成熟、可靠、自動化程度高等優勢,保證了處理后的出水電阻率達到18 MΩ.CM以上。設備內部還安裝有反滲透預脫鹽技術,從根本上保證出水水質。
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